＜担当職務＞
次世代EUV露光用CNTペリクルの量産化に向け、CNT膜へのコーティング技術開発を担当する。主な業務は、コーティング材料、膜構成、膜厚、成膜条件の設計・最適化に加え、水素プラズマ耐性、EUV環境耐性、膜寿命、機械特性、表面・構造解析等の評価計画立案、結果解析、改善方針を策定することである。
加えて、開発技術を量産プロセスへ接続するために、装置仕様、成膜条件、評価項目、量産適用課題を整理し、社内関係部署、装置メーカー、研究機関と連携して開発を推進する。
さらに、ASML、imec、顧客、産総研等との対外技術議論に参加し、評価結果や技術課題を根拠に基づいて説明・議論する。将来的にはCNTペリクル開発全体を理解し、コーティング領域を中心に開発テーマを牽引する役割を期待する。
＜募集背景＞
ICT事業の拡大・成長を収益の柱として持続的成長につなげるため、EUV露光用CNTペリクルの量産化を推進しています。
顧客とのコミュニケーションを通じて、CNTペリクルの設計、量産、性能向上のサイクルを確立し、世界唯一のEUVペリクルメーカーとして、今後のリソグラフィーロードマップおよび半導体市場の成長に貢献することを目指しています。
その実現に向け、最先端の材料技術・分析評価技術を活用し、世界初となる製品開発と新たな技術領域に挑戦できる技術者を募集します。
